氦质谱检漏仪的工作原理是在电子的轰击下会产生带电粒子，带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力，而在磁场的作用下将做圆周运动，而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离，这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。