28纳米光刻机有可能2022年交付。

上微28nm光刻机有可能在2022年内交付。去年年底的时候上海微电子的28nm光刻机通过技术检测和验证，不过之后就一直没传出什么消息。如果顺利的话应该可以今年角度于企业并安装调试。不过有消息说华卓精科与清华共同研制的双工件台没有达到预期。