不属于光刻机。

天原股份从事于基本都化合原料和有机合成的化学原料生产以及各种化工产品的生产制造、销售和进出口业务，涉及化工、矿业、物流、建材等领域。包括塑料制品、建材、电器仪表、香料生产以及电力业务。天原股份不制造光刻机及相关零部件。所以天原股份不属于光刻机。