本征扩散系数（Intrinsic diffusion coefficient）也称为偏（分）扩散系数，是指在有浓度梯度的合金中，组元的扩散不仅包含组元的自扩散，而且还包含组元的浓度梯度引起的扩散。

由合金中组元的浓度梯度所驱动的扩散称为组元的本征扩散，用本征扩散系数描述。