芯片光刻是无毒的。但蚀刻有毒，使用化学药剂。

高能光都被严格限制在光路里，除非设备出现问题，否则没有机会对人体造成伤害。激光做刻蚀除了对人眼有损伤外，其他无损害，是高效环保产品。因此激光加工过程中需要佩戴防护眼镜。

刻蚀Metal的基本都有毒，刻蚀Si及其化合物的看情况。