获取与待去除玻璃层的硅片相同的激活硅片，其中，所述玻璃层为磷硅玻璃或者硼硅玻璃

将所述激活硅片置于hf-hcl混合刻蚀液中进行刻蚀，并将刻蚀后的激活硅片取出，得到激活刻蚀液

将所述待去除玻璃层的硅片置于所述激活刻蚀液中进行刻蚀，得到去除所述玻璃层的硅片。