激光蚀刻是采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10~505μm、深度为5~1001μm的微细小槽，以改善材料表面润滑特性的技术。

激光刻蚀的基本原理是将高光束质量的小功率激光束（一般为紫外激光、光纤激光）聚焦成极小光斑，在焦点处形成很高的功率密度，使材料在瞬间汽化蒸发，形成孔、逢、槽。其加工工艺包括激光微纳切割、划片、刻蚀、钻孔等。