磁控溅射仪当然有污染。

1、可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，分子/原子光谱。

这些光密度不大，不至于刺伤钛合金狗眼. 属于无害辐射。

2、不可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，红外/紫外，分子/原子光谱。 紫外辐射有害

3、X射线：气体电离后的离子，在阴极加速场作用，轰击阴极靶材，作用区也比较复杂，除了实现离子刻蚀溅射以外，还有类似扫描电镜类似的散射出现，如二次电子，二次离子，及各种射线辐射。