国产替代：长电科技、通富微电、华天科技、芯原股份、兴森科技、华峰测控、长川科技。

单晶炉：晶盛机电

光刻机：芯碁微装

刻蚀机：中微公司、北方华创、神工股份

离子注入：万业企业

CVD/PVD：北方华创

氧化扩散：北方华创

涂胶显影：芯源微

键合机：奥特维

划片机：奥特维

检测：精测电子、长川科技、华兴源创、赛腾股份等。