可用于制备各种特定含氢量和所需链节数的聚甲基氢硅氧烷及官能团改性的聚硅氧烷用于合成室温硫化硅橡胶、加成型液体硅橡胶的特殊交联剂合成侧链聚硅氧烷液晶高分子及各种功能性的侧链改性硅油。

高纯度的还可以用于电子行业上作为等离子气相沉积的前驱体，形成二氧化硅、碳化硅绝缘薄膜．用来合成有机硅中间体及高分子化合物提供活性交联点之用，是制备硅橡胶不可缺少的原料之一。